水処理システムの省エネ改善－エネルギー使用量のモデル解析と重点対策

摘要

半導体·FPD製造工場における水処理システムの電力使用量は工場全体の5～10％を占めている。本稿では10，000m~3／dの純水を供給する水処理システムのモデルについて電力使用量を解析し、使用量の大きな3つ設備について省エネ改善技術を提案し、その効果を試算した。