パーティクルモニタDTPMシリーズ：コンパクトで扱いやすく低コストなクリーン環境の監視役登場

摘要

弊社は2000年頃から、「デスクトップファクトリ」（以下DTFと略す）のコンセプトで、省エネ、省資源、低コスト、多品種変量生産を実現する机上サイズの生産装置の研究開発に取り組んでおり一部商品化している。 この一つの応用として設備投資、維持費用を抑制するために、クリーンルームを用いず、生産装置をモジュール化して必要最小限の部分のみ局所クリーン化する試みがある。 この過程で歩留まり改善のフィードバックシステムを構築する為に、局所クリーン部空気清浄度の常時監視の必要性がでてきた。 また、弊社はクリーン環境で使用される液晶ロボット、半導体ロボットのメーカでもあり、それらを販売する中で一般的な半導体、液晶、光学部品の製造現場においでも各々の装置近傍の空気清浄度を多点で監視し、装置などの異常を早期に発見したいとのニーズがあった。 しかし、既存の高品質のパーティクルカウンタは高価でかつ、十分小型で無かった為その導入が困難であった。 そこで、以上のニーズを背景に、空気清浄度監視装置「パーティクルモニタDTPMシリーズ」を開発した。 本稿では、以下DTPM300、500の製品紹介をおこなう。