フィルタにおけるクリーン化技術の最新動向：超純水の清浄化技術－イオン吸着膜の極微量金属除去、極微量金金属分析への適用

摘要

当社では、超純水中の極微量金属を低減して超純水をさらに高水質化するために、金属除去機能を持つフィルタを超純水システムの後段に設置する【イオン吸着膜システム】を提案している。 ハウジングごと交換する一体型以外に、10インチフィルタハウジング対応のカートリッジ型を新たに用意したので紹介する。 また、従来の分析技術では極微量の金属不組物を検出するのに感度不足の問題が生じてきている。 そこで、金属捕捉性能が高いイオン吸着膜を濃縮カラムとして使用した当社独自の極微量金属分析方法【イオン吸着膜法】を開発した。 この方法では、従来の分析方法より1桁以上低いレベルを精度良く測定することが可能になっている。 今回は、【イオン吸着膜法】の迅速化を図ったので紹介する。