リアルタイムで測定可能な新しいタイプの粒子カウンター凝縮粒子カウンターW-CPCのご紹介

摘要

凝縮粒子カウンター(Condensation Particle Counter (CPC))とはサブミクロン領域の粒子をリアルタイムに計測可能な粒子カウンターのことである。 CPCは主に2種類に分かれる。 ブタノール型CPCとWater-based CPC（以下、W-CPC）である。 両者の違いは使用する凝縮液である。 ブタノール型CPCは1－ブタノール（n－ブチルアルコール）、W-CPCには純水や蒸留水を使用する。 ブタノール型CPCに比べW-CPCは無臭であるが故に、クリーンルーム内などでの測定·研究に適している。 W-CPCは米国のTSI社より世界で販売され、ナノテクノロジー業界などで注目されている。 本稿ではW-CPCの各モデルについて紹介する。