金属ガラスを応用した圧力センサ－高感度化、高耐圧化と小型化で高機能、高付加価値のセンサを

摘要

1896年に圧力計類の制作を開始した長野計器は、創業から1世紀の歴史をもち、我が国における計器工場の始まりとなっている。圧力計量計測制御機器の専業メーカーとして、独自の技術を築き上げてきた同社は、『金属ダイアフラムを用いた小型·高感度圧力センサ』によって、2007年に日本金属学会から第30回技術開発賞を受賞した。 開発に携わった技術の方に、金属ガラス製圧力センサを中心に話を伺った。