高精度測定に適した容量変化型を使った：±2％RH高精度湿度計の設計

摘要

電気特性を利用した湿度計に用いられている湿度センサには，電気抵抗変化型と電気容量変化型があります．今回は，優れた直線性と小さな温度係数を持つことで高精度湿度測定に適している電気容量変化型湿度センサを取り上げます．また，駆動回路としては，電気的ノイズに対して影響を受け難く，A-D変換器を必要としない周波数比較式を取り上げ，環境温度±10℃の変動においても±2％RHの精度が実現できる高精度湿度計の設計法を解説します．