感度1V/g,オフセット誤差±100mg未満：高感度·高精度加速度センサADXL203

摘要

MEMS型の加速度センサの普及は，自動車のエア·バッグへの応用から始まりました．現在では，自動車だけでなく，携帯電話機やゲーム機などへと用途の幅が広がり，小型化や低価格化が進んでいます．用途の拡大に伴い，加速度センサの役割や，要求される特性も変わりつつあります．定番加速度センサADXL202と高精度品ADXL203のドリフト特性に焦点をあて，傾斜計を例とした計測誤差の算出方法から，速度計の製作による誤差確認の実験を行います．