超音波モータの特徴とその駆動·制御技術：超音波モータの原理·制御方式および高精度の制御を必要とするカメラ、プリンタなどへの適用事例を紹介

摘要

超音波モータ(UltraSonic Motor：略称USM)は、振動体とこれに圧接される移動体からなっており、振動体には超音波領域の周波数(20kHz～)で振幅が数ミクロン以下の振動が励振される。駆動力は振動体と移動体の接触部に働く摩擦力を介して伝達され、低速·高トルクの性能と停止時に通電を切ることで移動体がロックされる構造をもっている。 この中から本稿では、比較的精度の高い制御を必要とするレンズ、プリンタなどへの適用事例について最近の注目技術なども交えて紹介する。