縦型φ200mm装置VERTEX-III(J3)/(F3)

摘要

当社が開発したφ200mmウェーハ対応縦型装置VERTEX-IIIシリーズは、現在全世界で約2,900台の納入実績を誇り、多くの半導体生産ラインで使用されている。 その一方、近年の半導体不況により、装置に対する顧客要望も性能及び信頼性向上はもとより、コストパフォーマンス向上等とさらに厳しく多様化している。 今回、このような様々な要求に応えるため、新たに開発した装置VERTEX-III(J3)と、それをもとにSMIF（Standard Mechanical InterFace：クリーンカセット搬送ポッドと半導体製造装置のインタフェース）に対応した装置VERTEX-III(F3)について紹介する。