近傍磁界計測における磁界プローブによる電磁界分布変化の検討

摘要

集積回路内部の配線およびプリント基板上の配線パターン近傍の磁界測定において，磁界プローブを測定対象物に接近配置することで測定対象の電磁界分布に変化が生じる．この電磁界分布の乱れにより，高周波帯での磁界測定精度への影響および測定対象物の動作への影響が考えられる．そこで，電磁界に対する侵襲性の定量的評価の基礎検討として，プローブの有無によるマイクロストリップ線路近傍の電磁界分布およびストリップ線路の伝送特性への影響をFDTD法ならびに実験により検証した．この結果，信号伝送に光ファイバなとを用い金属ケーブルを排除することによって電磁界に対する侵異性の低減が可能であることが検証できた．