ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ДЕМПФИРОВАНИЯ НА ДИНАМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПРОГРАММНО-УПРАВЛЯЕМЫХ ПРИВОДОВ КООРДИНАТНЫХ СИСТЕМ С РЕМЕННЫМ ПРИВОДОМ(ЧАСТЬ 1)

摘要

Приведены результаты исследований влияния демпфирования на параметры собственных колебаний, возникающих в приводах координатных систем с ременным приводом при их использовании в технологическом оборудовании для резки алмазным кругом пластин из полупроводниковых материалов (кремния, сапфира и т, п.). Возникновение собственных колебаний приводит к снижению качества обработки. Показаны пути снижения параметров амплитуд собственных колебаний путем управления параметрами демпфирования.