Методика количественного рентгеноспектрального микроанализа с учетом матричных эффектов

摘要

Рассмотрены возможности корректного использования матричных поправок на поглощение анализируемого рентгеновского характеристического излучения, тормозную способность мишени и обратное рассеяние первичных электронов пучка при решении прямой задачи количественного рентгеноспектрального микроанализа.