Пленки аморфного кремния с высокой термической стабильностью и радиационной стойкостью

摘要

Методом ионно-атомного осаждения получены пленки аморфного кремния, обладающие электрофизическими свойствами кремния с соответствующей проводимостью, повышенными термической стабильностью и радиационной стойкостью.