РАБОЧИЕ СТАНЦИИ НА ОСНОВЕ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ РАДИОЧАСТОТНЫХ ЗОНДОВ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ХАРАКТЕРИСТИК МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВ ПРИ 500 deg С

摘要

За последние годы существенно возросли потребности в датчиках и коммуникационных устройствах, которые могут работать при высоких температурах (500 deg С и выше). Высокотемпературные элементы находят применение в авиационных двигателях, высокотемпературных электронных модулях для эксплуатации в жестких условиях, в телеметрических устройствах для нефтегазовой промышленности, в системах контроля автотранспортных средств. Стандартные датчики на основе вафлеобразных структур в микроволновом диапазоне могут функционировать только при температуре до 200 deg С. В связи с этим была разработана новая система измерения на основе нагревательной платформы, термоконтроллера и экранированного датчика с функциями калибровки. Диапазон рабочих температур до 540 deg С.