В Университете шт. Иллинойс по заданию Министерства энергетики США проводилась разработка емкостных контактных сенсоров (СР-сенсо-ров) для измерений давлений касания и стягивания деформируемого (подвижного) электрода, изготавливаемого в виде круглой мембраны. Подвижный электрод и противолежащий ему неподвижный электрод, выполняемый на подложке сенсора, имеют изоляционные покрытия, исключающие их электрическое соединение при контактировании.
展开▼
