РАЗРАБОТКА ВЫСОКОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО КРЕМНИЕВОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА, ИЗГОТАВЛИВАЕМОГО ПО ОБЪЕМНОЙ ТЕХНОЛОГИИ И СОДЕРЖАЩЕГО ИНТЕРФЕРОМЕТР ФАБРИ-ПЕРО

摘要

Принцип действия акселерометра основан на преобразовании перемещений инерционной массы, вызываемых измеряемым ускорением, в пропорциональное смещение интерференционной картины, получаемой в интерферометре Фабри-Перо (EPI). Устройство акселерометра поясняется рис. 1, где обозначено: 1 - опорная кремниевая пластина, используемая в качестве нижней стенки резонатора Фабри-Перо, входящего в EPI; 2 - кремниевая инерционная масса, выполненная за одно целое с упругой плоской мембраной (пластиной) 3, расположенной в крепежном круглом корпусе 4; 5 - внутренние зеркальные поверхности верхней и нижней пластин резонатора Фабри-Перо; 6 - разделительные прокладки; t - высота инерционной массы и крепежного корпуса; d_(gap) - высота внутренней полости резонатора Фабри-Перо, выбираемая от 15 мкм до 120 мкм; t_(SUS) - толщина мембраны упругого подвеса инерционной массы; r_i - радиус инерционной массы, выбираемый в пределах от 0,5 мм до 1,5 мм; r_o - радиус мембраны упругого подвеса инерционной массы, который выбирается от 1 мм до 4 мм.