Разработан "интеллектуальный" миниатюрный сенсор расходов потоков газов для микроэлектромеханических (МЭМС) систем, содержащий десять изогнутых консольных балочек разной длины, которые изготавливаются по микромашинной поверхностной технологии на единой кремниевой подложке. Под воздействием напора измеряемого газового потока балочки изгибаются и по значениям их изгибов в течение заданных интервалов времени рассчитывается расход потока. При расходах потоков, превышающих некоторые критические значения для каждой балочки, они начинают вибрировать. Длины балочек, различающиеся на 200 мкм, составляют от 200 мкм до 2000 мкм. Толщины балочек примерно равны 1 мкм, а значения их ширины выбираются от 100 мкм до 400 мкм (в зависимости от длины).
展开▼
