МИНИАТЮРНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ СЕНСОРЫ ДАВЛЕНИЙ С ДИСТАНЦИОННОЙ ПЕРЕДАЧЕЙ СИГНАЛОВ

摘要

Для медицинской диагностики и биологических исследований необходимы сенсоры давлений с очень малыми габаритами и высокой чувствительностью при верхних пределах измерения, составляющих от единиц до десятков кПа, В медицине такие сенсоры предназначены для измерений внутричерепных и внутриглазных давлений, для проведения кардиологических и урологических исследований. Для решения этих задач проводятся разработки миниатюрных кремниевых сенсоров давлений с пьезорезисторными преобразователями, которые являются составными частями сложных комплексов, называемых микроэлектромеханическими системами (МЭМС). С учетом необходимости обеспечения очень малых габаритов такие сенсоры требуют применения сложных технологий и имеют относительно большие стоимости. Их выпуск является экономически оправданным при массовом производстве. С учетом необходимости устранения вышерассмотренных недостатков существующих миниатюрных сенсоров давлений проведена разработка емкостных сенсоров малых давлений со встречно-штыревыми электродами, которые обладают более простой технологией изготовления, небольшой стоимостью и малыми габаритами.