Измерение сдвиговых механических напряжений в пограничных слоях низ-коскоростных газовых потоков вблизи стенок проводящих каналов (труб). по которым проходят потоки, представляет собой актуальную и сложную задачу. Известные тензорезисторные и тепловые сенсоры сдвиговых механических напряжений имеют относительно большие размеры и обладают ограниченной разрешающей способностью. В последние годы на основе технологий микроэлектромеханических систем (МЭМС) разрабатываются сенсоры такого типа, не имеющие отмеченных недостатков и обеспечивающие измерение сдвиговых механических напряжений, составляющих около 0,1 Па с пространственной разрешающей способностью около 100 мкм. В настоящей работе описан такой сенсор, разработанный в Колумбийском университете г. Нью-Йорк США, в котором применен подвижный (плавающий) чувствительный элемент в виде миниатюрной пластинки, закрепленной на конце консольной балочки и расположенной между двумя приемными электродами, относительно которых изменяются ее емкости при перемещениях под воздействием измеряемых сдвиговых механических напряжений. Сенсор закрепляется заподлицо в углублении кремниевой пластины, которая в свою очередь закрепляется на внутренней стенке канала, по которому проходит исследуемый поток.
展开▼
