高速半導体ウエハ搬送ロボット

摘要

当社は，半導体ウエハの微細化処理や搬送時の高速化など多様化する市場要求に合わせて，顧客向けに特化した製品を中心にウエハ搬送ロボットシステムを提供し，現在までに2万台以上の納入実績を有している。この実績をベースに高い信頼性を確保し，モジュール（ロボットとその周辺機器）の標準化とシリーズ化を図ったSEMISTAR-Mシリーズをラインアップしている。本稿では，SEMISTAR-Mシリーズとして，300～450mmウエハの高速搬送クリーンロボットSEMISTAR-MR124を紹介している。