リニアモータの冷却技術と液冷リニアモータ

摘要

半導体·液晶製造装置など高精度·超精密な位置決めが求められる用途にリニアモータが多く適用されている。リニアモータは装置に組み込まれるため，リニアモータからの発熱が装置の性能などに影響を及ぼすおそれがある。そのため，用途に応じた冷却機構が求められる。近年，超精密用途以外でも装置に合った冷却機構を持つリニアモータの需要が増えている。このような背景のなか，今回，汎用のコアレス形リニアモータLinear∑シリーズに，超精密コアレス形リニアモータで培ってきた冷却技術を適用し，汎用の液冷コアレス形リニアモータを開発した。本稿では，用途ごとにニーズの異なるリニアモータの冷却性能に対して，当社が取り組んできた各種冷却技術を説明し，開発した液冷コアレス形リニアモータの特長，性能などを紹介している。