東京応化、相模事業所の新研究棟で第2期計画～露光装置増設

摘要

東京応化工業は相模事業所（神奈川県寒川町）で建設中の研究開発施棟の第2期工事を計画している。 第1期工事が完了する来年春以降に着手する方針で、数年間で順次最新鋭の露光装置などを増設する。 新棟の立ち上げにより半導体製造用フォトレジスト（感光剤）などの最先端技術の確立を目指す。