JSR／トリケミカル研究所、次世代半導体材料で包括業務提携

摘要

SRと高純度化学薬品メーカーのトリケミカル研究所（本社：山梨県上野原市）は、線幅22nmの次世代半導体製造用材料の開発·製造·販売に関する包括的業務提携を3月9日付で締結したと発表した。