透明導電膜の実用化と新機能開拓

摘要

ワイドギャップの酸化物半導体（In_2O_3，ZnO，SnO_2，TiO_2）において化学ドーピングによって1020～1021cm~(-3)程度のキャリアを導入することで，可視光透明性（透過率80％以上）と高電気伝導性（抵抗率1×10~(-3)日cm以下）を達成することができる。これらの物質は透明導電性酸化物（TCO）と呼ばれ，薄膜の形でフラットパネルディスプレイ（液晶ディスプレイ，プラズマディスプレイ），LEDなどの発光デバイス，太陽電池等の透明電極として用いられている。