AIGaN系深紫外LEDの進展と今後の展望

摘要

波長が220～350nmの半導体深紫外光源（deep－ultraviolet lightemltting diode（DUV－LED）·1aser dlOde（LD））は，幅広い分野への応用が考えられその実現への期待が高い。図1にDUV-LED·LDの今後の応用についてまとめた。DUV－LED·LDは，殺菌·浄水，医療分野·生化学産業などへの応用が考えられるほか，高密度光記録用光源やLED照明，UV硬化樹脂等への産業応用，蛍光分析などの各種センシング，酸化チタンとの組み合わせによる環境破壊物質（ダイオキシン，環境ホルモン，PCB等）の高速分解処理など応用範囲が幅広い。殺菌効果では，DNAの吸収波長と重なる260-280nm付近の波長でもっとも効果が高いことが知られている。