微細配線形成におけるナノテクノロジーの応用

摘要

エレクトロニクスデバイスの製造において、表面技術は重要な要素技術であり、さらなる用途展開が期待される。 しかし、技術的常識は過去からの貴重な遺産であるが、常識への安住は沈滞につながる。 多年の歳月をかけ確立されてきた技術の海外展開は止まることなく進行する。 知的財産立国に向けたオリジナル科学技術の基板構築が急務であり、ニーズ対応プロセス設計を考慮した表面技術のプロセス·イノベーションが必須である。