SEMによる断面観察のための前処理技術

摘要

形態観察は材料解析技術として有用であり、特にSEM（走査型電子顕微鏡）は身近な観察手段として利用機会が増えている。一方で適切な前処理を実施しないと正確な形態情報が得られないこともあり、材料の特性や目的に応じた方法の選択が重要となる。本稿では断面形態をSEMで観察する場合の前処理技術について観察例を交えて紹介する。