Структурно-фазовое состояние системы Ti-Si, обработанной компрессионными плазменными потоками

摘要

Исследованы особенности структурных изменений и закономерности фазовых превращений в приповерхностных слоях системы "титановое покрытие-кремниевая подложка " после обработки компрессионными плазменными потоками. Обнаружено формирование глубоких (～7 мкм) легированных слоев, содержащих силициды титана Ti_5Si_3, TiSi_2 (фаза С49), и образование дендритов двух видов, состоящих из кремния и Ti_5Si_3.