Проведен экспериментальный анализ структуры внутреннего объема и поверхности покрытий в зависимости от угла напыления частиц по отношению к подложке. При углах напыления менее 90° вследствие "теневого эффекта" за ранее напыленными частицами образуются поры, при ушах менее 45° из этих пор формируются впадины, а из напыленных частиц - гребни. Эти элементы составляют основу структуры трехмерных капиллярно-пористых (ТКП) покрытий, вырастающих на подложке. Соотношение между объемами гребней и впадин определяет величину пористости ТКП покрытий, которая может плавно меняться вплоть до 70%. С увеличением угла соударения частиц с подложкой с 45 до 90° размер пор уменьшается с 60 до 2 мкм, а локальная высота рельефа покрытия становится соизмеримой с размером напыляемых частиц.
展开▼
