ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ НАНОРАЗМЕРНЫХ СИЛИКАТНЫХ И ГИБРИДНЫХ ПЛЕНОК МЕТОДАМИ ОПТИЧЕСКОЙ И АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ

摘要

Статья посвящена исследованию морфологии поверхности силикатных и гибридных органо-неорганических пленок, получаемых золь-гель методом на полупроводниковом монокристаллическом кремнии. Пленки формировали из золей на основе тетраэтоксисилана посредством центрифугирования. Для изме-нения химического состава пленок в золи вводились неорганические вещества (допанты) - борная кислота и нитрат гадолиния. Чтобы увеличить толщину этих пленок, золи модифицировали небольшим количеством (～1 мас. %) полио-лов линейного и разветвленного строения с различными значениями молекуляр-ных масс и различным количеством активных функциональных групп. Методами оптической и атомной силовой микроскопии выявлено существенное изменение морфологии поверхности сформированных пленок, т. е. образование специфи-ческой структуры пленок под воздействием вышеуказанных допантов и моди-фикаторов.