ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ОКСИДОВ ДИСПРОЗИЯ И ПРАЗЕОДИМА, ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ К ОЗОНУ И ПАРА

摘要

В настоящей работе представлены результаты исследования поверхности пленок из оксидов диспрозия и празеодима, полученные с помощью атомно-си-ловой микроскопии и микрорентгеноспектрального анализа. Определены элек трофизические свойства полученных пленок. Показано, что введение примесей оксидов циркония и празеодима в состав исходного раствора, использовавше гося для синтеза пленок Dy_2O_3, является эффективным способом изменения электропроводности полученных пленок (в частности, примесь на основе ZrO_2 повышает электропроводность пленки Dy_2O_3, а примесь на основе PrO_x, влияет сложным образом). Исследована температурная зависимость чувствительности пленок к среде озона и парам этилового и метилового спиртов.