量産可能な形状記憶合金薄膜開発物質·材料研究機構

摘要

物質·材料研究棟構は、広い範囲に捗って安定した特性を示す、Ti·Ni·Cu系形状記憶合金薄膜を開発した。 形状記憶合金薄膜は、小電圧で既存のアクチュエータにはない大変位量と力を発生できることから、微小な機械を動かすマイクロアクチュエータとして注目されている。 しかし、従来のTi·Ni形状記憶合金は、非常に精密な組成制御が必要とされ、また、スパッタリング法で作成した薄膜にいたっては、特性の組成依存性が大きく、再現性が悪いなどの欠点があり、大量生産に向かなかった。