新規アダマンタン誘導体3グレードを市場投入

摘要

出光興産は、これまで半導体製造用のフォトレジスト原料としてArF露光用（線幅90nm、65nm向け）のグレードを提供してきたが、新たにArF液浸露光用原料（線幅45nm世代以降向け）としてアダマンタン誘導体3グレードをこのほど市場投入した。