超短パルスレーザを使った微細加工技術と加工装置の紹介

摘要

当社は東京都大田区にあるレーザジョブショップであ，りレーザ加工装置メーカーである。得意な加工分野はレーザを用いた微細加工で，エキシマレーザをはじめTEA-CO_2レーザ．固体UVレーザを用いてさまざまな微細加工の要求にお答えしてきたが，多くの加工対象が樹脂フィルムに限定されることから，次世代微細加工用レーザとしてピコ秒レーザ，フェムト秒レーザを順次導入し，新しいアプリケーションの模索と加工要求への対応をしている。本稿では，その超短パルスレーザを使ったアプリケーションの紹介と，当社が提供するレーザ加工装置について紹介する。