光加熱式サーモリフレクタンス法による熱物性測定装置の開発

摘要

レーザによる光加熱式サーモリフレクタンス法による薄膜の熱物性測定法は、ピコ秒サーモリフレクタンス法の開発、100nmオーダーの金属薄膜の熱拡散率測定へと発展している。 一方で、この方式による測定装置は開発レベルから実用段階に到達した。 ここでは、熱物性顕微鏡とナノ秒サーモリフレクタンス法薄膜熱物性測定装置に関して、それらの測定原理から応用例、さらに将来的な可能性について紹介する。