セラミック/金属接合材の引張強度に及ぼす金属側界面端形状の影響

摘要

本研究では，セラミック－金属接合体における界面端部の形状が界面端に生ずる残留応力低減に及ぼす影響を確認することを目的として，中間層として一般に用いられる銅を窒化珪素Si{sub}3N{sub}4の接合相手材としたSi{sub}3N{sub}4-Cu接合体を対象として，接合体強度に及ぼす金属側の界面端形状の影響を明らかにする。 さらに，Si{sub}3N{sub}4-Cu接合体を用いた実験結果の一般性を確認する目的で，高温特性に優れたニッケルをSi{sub}3N{sub}4の接合相手材としたSi{sub}3N{sub}4-Ni接合体において，金属側の界面端形状の修正効果を明らかにする。本研究で得た平面界面を有する異材接合体の界面端形状の修正による接合体強度の改善効果が材料の組み合わせが異なる接合体においても確認でき，汎用性を有することを明らかにする。