二重イオン注入した金属材料の硬化

摘要

イオン注入法は，熱処理を伴わずに任意のイオンを材料へ添加する技術として知られている。 イオンの添加やイオンエネルギーの効果により，表層に化合物層の形成や結晶構造の変化を引き起こし，機械的特性や化学特性などを向上させることが可能であることから，表面改質に応用されている。イオン注入による表面改質法は，他の表面処理法と比較すると，表1に示すような特徴を持っているので，精密部品·金型や生体材料等に応用されている。