超音波リニアモータ：小型·高出力·高耐久性超音波モータの開発

摘要

これまでの超音波モータに見られた、低速駆動時の不安定性や、摩擦部材の摩耗によるモータ特性の変化及び低寿命を改善した、小型で高分解能かつ高耐久性超音波モータを提供する。