スパイラル超音波援用研削法の提案と単結晶シリコン研削時の基本加工特性

摘要

工作物に超音波楕円振動を与えながら研削を行ういわゆるスパイラル超音波援用研削法を提案した。実験装置を製作して単結晶シリコンの平面研削を行った結果、超音波無しの慣用研削と比べ研削抵抗が大幅に低減し、良好な加工面も得られることが明らかになった。