広帯域SAW共振子とそのチューナブルフィルタへの応用

摘要

LiNbO_3基板にCu電極を埋込んだ弾性表面波（SAW）構造にて、従来に比べ1.3倍の17％の比帯域をもつ広帯域SAW共振子を開発した。このSAW共振子を用い、バンドパス型とラダー由でチューナブルフィルタを検討した。