センサプレート／マッチング層／圧電結晶構造を用いたマイクロ実験室

摘要

弾性表面波（SAW）伝搬面上に液体をのせると、SAWは液体中に縦波を放射する。このとき、SAWの振幅を大きぐすると、液体は振動、流動く飛翔する。SAWストリーミングとして知られるこの現象を利用した液滴制御技術と計測技術を同一面に集積化すると、新しいデジタル式マイクロ流体システムが実現できる。本稿では、使い捨てを可能とするセンサプレート／マッチング層／圧電結晶からなる3層構造デバイスを用いたマイクロ実験室について紹介する。