ラボ用小型フッ素系溶剤洗浄装置：多機能·省スペースを実現し全てのフッ素系溶剤に対応

摘要

この背景には他の洗浄方法である水系·準水系洗浄の問題点（産業廃棄物の処理、純水装置のランニングコスト、乾燥で使用しているIPAの削減等）炭化水素系洗浄の問題点（乾燥性が悪い、火災の可能性等）を回避する為に本洗浄システムの導入が年々増加傾向にあることが上げられる。 今回、フッ素系不活性溶剤·洗浄システム及びラボ用小型洗浄装置を紹介する。