超音波レビテーション洗浄消毒滅菌機の性能

摘要

近距離場音波浮揚を利用した自走式非接触リニアステージについて説明する。 本リニアステージはガイドが不要であることから小型化が期待でき、超クリーン環境下や強磁場、超低漏洩磁場要求環境下での使用も実現できる可能性がある。