無限周期構造における弾性波動斜め伝搬のモデル化

摘要

本稿では、SAWのグレーティング中斜め伝搬のモデル化手法として“縦共振条件”を提案する。最初に、ブラツグ反射のSAW逆速度面に及ぼす影響を示すとともに、“縦共振条件”を提案し、その条件の元でβ_yをωの閉じた関数として表現した。次に128-LN基板上のSAWについて、β_yのω依存性を求め、上述の閉じた関数とフィットし、γを求めた。両者はよく一致し、提案したモデル化の安当性を確認した。