信号処理による超音波式渦流量計の耐気泡性向上

摘要

異物の混入を嫌う半導体製造装置で好んで使用される超音波式渦流量計について、薬液等への適用を狙い、原理上計測が困難な気液2相流での計測精度向上を目指した信号処理方法について検討したので報告する。