超音波加工：超音波楕円振動切削技術の実用化－超音波楕円振動制御システムの開発と超精密切削への適用

摘要

本稿では、本手法において形状精度劣化の主要因となる振動軌跡の変動の抑制を目的として開発した振動制御システムについて紹介する。 具体的には、まず、楕円振動軌跡を安定化制御する際に大きな問題となる2方向の振動間の干渉を取り除く手法について説明する。 次に、2方向の振動振幅制御、位相差制御、共振周波数自動追尾を同時に行う振動制御システムを示す。そして、開発した振動制御システムを用いて実際に高硬度金型材料の超精密切削を行った加工事例を示す。