超音波加工：超音波シュー心無し研削による極小径部品の創成加工

摘要

近年、マイクロマシンパーツや微細加工用ツールおよび医療用カテーテルなど直径数十μm～サブミリ程度の極小径部品の需要が急増している。 しかし、これら極小径部品を高効率高精度で創成加工する技術は、特殊加工と機械加工の両方から研究開発を行われているが、まだ実用化に至っていない。 このような情勢の中で筆者は、過去の研究で開発した超音波シュー心無し研削というユニックな機械加工法に着目し、極小径部品の創成加工技術の開発に取り組んできており、直径75μm、長さ15mmの微小径円筒体の創成加工に成功している。 本稿では、直径100μm以下の微小径円筒体の高精度高効率創成加工技術を確立することを目途に、設計·製作した極小径部品の創成加工に適した超音波シュー心無し研削装置およびこの装置を用いた研削テストの結果について述べる。