超音波振動テーブルで難削材に微少な穴加工－セラミックス材の微小な穴加工

摘要

セラミックス材は、耐熱性、耐食性に優れているが加工性が悪いという問題点があり、新しい加工技術の開発が課題となっている。 そこで、機械加工に超音波振動エネルギーをアシストしてセラミックス材のような難削材の加工方法の開発が必要とされている。 実際、切削時に比較的小さな振動荷重（超音波振動を含む）を加える事により難削材を切削することができ、仕上げ精度が向上する例が報告されている。ここでは、難削材の超音波加工に着目し、振動テーブルを試作し、その加工特性について調べた。