第5.5世代液晶向けイオンドーピング装置の開発

摘要

第5.5世代ガラス基板対応のイオンドーピング装置を開発した。装置の基本コンセプトは第4世代装置としてベストセラーであったiG4をべースにしており、高い信頼性をもった出来上がりとなっている。大電流密度ビームでの注入が可能というiG4最大の特長も、もちろんそのまま受け継いでいる。iG5では、ここからさらにiG4にて培った技術と経験をもとにして種々の改艮が施されるとともに、新開発の機能が付加されている。