Дослiдження тонких зносостiйких вуглецевих покриттiв i структур, сформованих термiчним випаровуванням у вакуумi на п'езокерамiчних матерiалах

摘要

Дослiджено функцiональнi особливостi отримання тонких зносостiйких покриттiв через вивчення умов iхнього формування термовакуум-ним осадженням на поверхнях п 'езокерамiчних матерiалiв. Виявлено вплив низь-коенергетичного стрiчкового електронного потоку на фiзико-експлуатацiйнi характеристики поверхонь п'езокерамiчних елементiв, що експлуатуються в умовах агресивних середовищ. Встановлено, що модифiкацiя низькоенергетич-шт електронним потоком (Е<6 кеВ) поверхонь п 'езоелементiв з керамiки ЦТС-19 покращуе мiкрогеометрiю цих поверхонь, сприяе формуванню на них вуглецевих структур, що пiдвищуе на 8-12 % iхню мiкротвердiсть.